ATOS压力传感器_ATOS压力传感器
1) 压力传感器必须沿着线缆进行安装, 好安装在线缆接头处。 (2) 每条线缆装设压力传感器不少于4个, 靠近电话局的两个压力传感器, 相距不应大干200m。 (3) 每条线缆的始端和末端分别安装1个。 (4) 每条线缆的分支点应装1个, 如果两个分支点相距较近(小于100 m),可只装1个。 (5) 线缆敷设方式(架空、地下)改变处应装1个 (6) 对无分支的线缆, 因垒线的线缆程式一致, 压力传感器的安装隔距不大干500m, 并使其总数不少于4个。 (7) 为了便于确定压力传感器故障点, 除在起点安装压力传感器外,距起点150~200m处,还要另外安 产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值, 灵敏度误差将是压力的递增函数。 **压 以**真空为标准表示的压力大小。 相对压 对比较对象(标准压)而言的压力大小。 大气压 指大气压力。标准大气压(1atm)相当于高度为760mm水银柱的压力。 真空 指低于大气压的压力状态。1Torr=1/760气压(atm)。 如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。 该误差的产生原因在于扩散过程的变化。 第三是线性误差:这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素, 该误差的产生原因在于硅片的物理非线
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