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SMC洁净室用无杆气缸
洁净型无杆气缸光掩膜形成离子注入涂膜处理曝  光刻  蚀氧  化CMP 搬  送
将开关插入气缸的开关槽内，在安
装位置设定后，用一字形钟表螺丝
刀，紧固附属的安装小螺钉。
洁净型无杆气缸 CYP 系列
注) 紧固磁性开关的紧固螺钉(附在磁性开关上)
时，。
磁性开关/行程末端检出时的合适安装位置
①要十分小心不要让缸筒碰上物体引起变形。
低发尘（与12-CY1B比），不用真空抽吸，发尘量降至1/20，
缸筒外表面为非接触构造，不锈钢制直线导轨（特殊处理），
※导线表示记号 0.5m…………无记号（例）Y69B
3m ………… L Y69BL
5m ………… Z Y69BZ
※带○的无触点磁性开关按订货。
PLC：可编程控制器
注1)本尺寸图表示配管通口位置“无记号”的场合。
注2)本尺寸表示垫的凸出部。
注3)参见 P.47的产品各自注意事项(缓冲效果(正弦缓冲)和行程调整)。
安装磁性开关时，如右图所示方向
因缸筒与移动体是不接触的结构，因此，稍许变形、位置的偏
差都会造成动作**、寿命下降及损坏发尘特性。
②直线导轨上不要碰上物体，不要出现伤痕。
直线导轨上，实施了特殊处理，以抑制因滑动引起的发尘，若
稍许损伤，都会造成动作**，寿命下降及损坏发尘特性。
③滑台是用精密轴承支承，安装工件时，不要承受强冲击
和过大的力矩。
 

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