SICK施克反射器及光学元件[产品打印页面]

DOE的特点则是能够在保持较高衍射效率的同时对光强分布进行**控制，因此DOE成

为实现离轴照明的理想元件。一般用于光刻系统离轴照明的DOE，其子单元个数需<10，

设计数据量较大，单元尺寸达到微米甚至是亚微米量级。

光沿着直线传播，当光穿过一个小孔或经过一个轮廓分明的边缘时，沿小孔边缘产生了

干涉图形，结果得到了一个模糊的图像，而不是希望出现在光和阴影之间的清晰边缘，

光看上去沿狭缝边缘弯曲了。这种现象被称做衍射。

光学元件基于光波的衍射理论，利用计算机辅助设计，并通过半导体芯片制造工艺，

在基片上(或传统光学器件表面)刻蚀产生台阶型或连续浮雕结构，形成同轴再现、且

具有极高衍射效率的一类光学元件。衍射光学元件薄而轻，体积小，还具有高衍射效

率、多设计自由度、良好的热稳定性和独特的色散特性，是诸多光学仪器的重要元件。

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