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电压差即可用于测量旁路通道内流过芯片的气体的质量流量。 该温度传感器的热量低、与介质直
The voltage difference can be used to measure the mass flow flowing through the
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接接触，因此具有许多特定的优势，其中之一就是对于流量变化的响应极快。带 CMOS 传感器
The MFC has a response time of 100 ms, and high sensitivity, even if the traffic l.
管道中的层流元件产生一个必需的压差，使小部分流量进入旁路管道。旁路管道内壁上装有带膜
bypass channel chip gas. The temperature sensor is low in calories, with straight medium
的硅芯片，用于测量流量。采用 CMOS 传感器技术，在这块膜上有一个加热电阻和两个对称的
Indirect contact, so it has many specific advantages, one of which is a response
温度传感器（分别位于上游和下游）。如使加热电阻保持在一个恒定温度，则两个温度传感器的
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