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产品名称: XGT313-46236-1C
产品型号: XGT系列
产品展商: SMC
简单介绍
XGT313-46236-1C 使用压力范围 (Pa) 使用流体门尺寸 (高×宽) (mm) 动作压力 (MPa) XGT 大气压～1×10-6 惰性气体系的真空 32×222 46×236 50×336 0.45～0.6 特长对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。

XGT313-46236-1C的详细介绍

XGT313-46236-1C

高真空狭缝阀
阀门口径
适用晶圆尺寸
200毫米
300毫米
轴数
两轴波纹管
一轴波纹管
符号
22
31
打开窗口大小
高x宽（mm）
32×222
46 X236
50×336
适用晶圆尺寸
200毫米
300毫米
符号
32222Note）
46236
50336
自动开关
和连接器
门O形圈材料
材料
符号
1
2
阀门类型
1
非卡带
类型
符号
阀门类型
可适用
晶圆尺寸
200毫米
300毫米
2
卡式
标准
卡式
半MESK
卡式
全MESK
3 4
适当的密封取向
终LOCK取消的程序
适当的密封取向
终LOCK取消的程序
适当的密封取向
终LOCK取消的程序
适当的密封取向
终LOCK取消的程序
高度
非卡式
注）无论是卡式半MESK的也不卡带
设置**MESK。
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