日本SMC传感器
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净气体过滤器 SF
类型 系列/CAD 使用压力 过滤精度
卡盘式
圆盘式 SFA100/
200/300 Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa) 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
卡盘式
直筒式 SFB100 Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
特长 可更换滤芯的卡盘式。
一次性使用式
直筒式 SFB300 Max.15MPa
(真空:1.3×10-6kPa) 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性使用式
多层盘式 SFC100 Max.1.8MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
特长 用于半导体工艺的一次性使用式。
卡盘式
直筒式
洁净气体滤网 SFB200 Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa) 120μm